产品列表PRODUCTS LIST
日本东京计装超声波流量计液体用 SFC型变换器大大减轻了半导体工艺、药液工艺等中存在的问题，对流体中气泡的影响。 为了适应各种药液，配备了消除流体运动粘度影响的补偿功能。 可通过RS485通信功能集中管理进程。
更新时间：2023-08-23
日本东京计装超声波流量计液体用
UCUF-E系列液体用超声波流量计是专为超纯水和各种药液等小流量测量而设计的流量计，由UCUF-E型检测器和SFC型变换器构成。
UCUF型检测器的接液部全部由面向半导体产业的PFA构成，没有可动部，可防止积液
也没有容易产生的o形圈等机械密封部。 因为是理想的洁净结构，是半导体装置等要求高洁净度的工艺的*流量计。
SFC型变换器大大减轻了半导体工艺、药液工艺等中存在的问题，对流体中气泡的影响。 为了适应各种药液，配备了消除流体运动粘度影响的补偿功能。 可通过RS485通信功能集中管理进程。
EMC标准: en 61326-1:2013/en 61326-2-3:2013
支持RoHS
采用连接器结构的拆装式传感器电缆
运动粘度40 mm2多可测量/s的高粘度流体
精度在指示值的±1%以内(流速1 m/s以上时)
广泛的范围性能( 100:1代表值)
理想洁净结构的检测器
耐腐蚀，安装方便
半导体制造工艺纯水超纯水的流量测定
各种药液注入工艺的流量测定
高腐蚀性液体的流量测量
CMP浆料流量测量
其他小~中口径工艺液体流量测量
清洗装置、CMP装置的流量测量控制
日本东京计装超声波流量计液体用
检测器规格
| 形式 | UCUF-04E/06E战斗机 |
|---|---|
| 测量对象 | 全部液体(不含气泡的液体、混合液应均匀溶解) |
| 流量范围 | 04E : 0 ~ 50mL/min (小) 0 ~ 3000mL/min (大) 06E : 0 ~ 400mL/min (小) 0 ~ 8000mL/min (大) |
| 流体声速 | 1000 ~ 2200m/s |
| 流体运动粘度 | 0.3 ~ 40mm2/s |
| 流体温度 | +10 ~ 60℃ |
| 流体压力 | 0 ~ 0.5MPa |
| 材质 | 本体(接液部)材质: new PFA (无PFOA ) 传感器/电缆盖材质: PP 盖部密封件材质:氟橡胶 |
| 进程连接 | PFA气管末端 |
对应变换器
| 形式 | SFC3000 |
|---|---|
| 输入 | 传感器信号:电缆( BNC连接器) |
| 脉冲输出 | 可选择频率脉冲输出、累计脉冲输出或FAULT输出 集电极开路负载额定值: DC30V、15mA以内 频率脉冲输出 占空比:1 :1 脉冲速率:0 ~ 1000Hz (满量程) 累计脉冲输出 单位:×0.1 ml、×1 ml、×10 ml、×1l 脉冲宽度:0.5ms、50 m s、100ms FAULT输出(转换器、检测器异常时输出) no，可选择NC |
| 电流输出 | DC4~20mA负载电阻: 500Ω以内 |
| 低切断 | 0 ~ 25% F.S |
| 通信 | 搭载RS485通信功能的协议:多可连接32台MODBUS |
| 电源 | DC24V±10% |
| 结构 | IP20 (室内规格) |
| 设置 | DIN导轨安装 |
如有需求详情点击或添加手机微信详询联系：日本东京计装超声波流量计
免费咨询：19961810949
发邮件给我们：35371012@qq.com
在线客服