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日本东京计装超声波流量计 UCUF-M系列液体用超声波流量计是专为超纯水和各种药液等小流量测量而设计的流量计，由UCUF-M型检测器和SFC型变换器构成。 UCUF型检测器的接液部全部由面向半导体产业的PFA构成，没有运行部，也没有容易产生积液的o型圈等机械密封部。 因为是理想的洁净构造，较适合半导体装置等要求洁净度的工艺的流量计
更新时间：2023-08-23
日本东京计装超声波流量计
UCUF-M系列液体用超声波流量计是专为超纯水和各种药液等小流量测量而设计的流量计，由UCUF-M型检测器和SFC型变换器构成。 UCUF型检测器的接液部全部由面向半导体产业的PFA构成，没有运行部，也没有容易产生积液的o型圈等机械密封部。 因为是理想的洁净构造，半导体装置等要求洁净度的工艺的流量计。
SFC型变换器明显减轻了对半导体工艺、药液工艺等问题的流体中气泡的影响。 为了适应各种药液，配备了消除流体运动粘度影响的补偿功能。 DIN导轨安装型节省空间。 可通过RS485通信功能集中管理进程
EMC标准: EN61326-1
支持RoHS
统一为连接气管间距80 mm
运动粘度40 mm2多可测量/s的高粘度流体
精度在指示值的±1%以内(流速1 m/s以上时)
宽范围性能(代表值100 : 1 )
理想洁净结构的检测器
耐腐蚀，安装方便
半导体制造工艺纯水超纯水的流量测定
各种药液注入工艺的流量测定
高腐蚀性液体的流量测量
CMP浆料流量测量
其他小~中口径工艺液体流量测量
清洗装置、CMP装置的流量测量控制
日本东京计装超声波流量计
主要规格
检测器规格
| 测量对象 | 全部液体(不含气泡的液体和PFA不得透过或侵蚀) |
|---|---|
| 标称口径 | 2.5、4 (连接1/4 )、4 (连接3/8 )、6、10、15、20mm |
| 流量范围 | 大0 ~ 80 L/min 小0 ~ 0.01 L/min |
| 测量精度 | 指示值的±1.0% (流速1m/s以上) 大18.8至80l/min 小0.025 ~ 0.1L/min |
| 关于流速低于1m/s的精度，请参照样本PDF。 大0~ 18.8L/min 小0~ 0.025L/min | |
| 流体温度 | 10 ~ 90 ℃ |
| 流体压力 | 0 ~ 0.5 MPa |
| 音速范围 | 1000 ~ 2200 m/S |
| 流体运动粘度 | 0.8 ~ 40 mm2/s |
| 接液部材质 | PFA |
| 进程连接 | PFA气管末端 |
| 电缆 | 附带2根同轴电缆，电缆长度5 m (长可支持30 m的延长电缆) |
| 连接器型 | 中小型企业、BNC |
| 结构 | IP65 |
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