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日本东京计装气体用热式流量计

简要描述:

日本东京计装气体用热式流量计 TH热流量计是基于热传导理论的东京仪表原创的气体用热式流量计。 为了支持各种用途,传感器可支持公称直径15A~1500A。另外,转换器从适合使用用途的单功能型到高功能型,备有各种产品。 (热流量计将传感器和转换器组合使用)

更新时间:2023-08-23

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日本东京计装气体用热式流量计

TH热流量计是基于热传导理论的东京仪表原创的气体用热式流量计。 为了支持各种用途,传感器可支持公称直径15A~1500A。
另外,转换器从适合使用用途的单功能型到高功能型,备有各种产品。 (热流量计将传感器和转换器组合使用)

产品系列和概略规格

可进行不受压力及温度变动影响的质量流量测量
从低流速范围到高流速范围在广范围内具有实用测量精度
无可动部、高耐久性
0.1kPa以下的低压力损失( TH-1600/TH-1800系列除外)
整流器组装型几乎不需要上游侧直管部( TH-1800系列及TH-1200+选购整流器)
从-196℃的超低温到+550℃的超高温,可广泛应对
带净化功能检测器可对应含有灰尘雾沫的生产线

主要用途

半导体制造设备(气体管线)
空调管线
医用气体供给管线
低压气体管线
垃圾焚烧设备生产线

日本东京计装气体用热式流量计

 

一般配管插入型传感器(1)

形式TH-1100战斗机TH-1400战斗机TH-1100-SP/
th-3200战斗机
外观TH-1100TH-1400TH-1100-SP/TH-3200-SP
特点类型插入型插入型(插入长度可变)插入型、带清除功能
中温用/高温用
进程连接配管喷嘴法兰
(标准32AJIS10K )
配管喷嘴法兰
(标准40AJIS10K )
法兰连接
(标准65AJIS10K )
配管口径50A~350A
选择项400A ~1500A
50A~350A
选择项400A ~1500A
150A~1500A配管插入型
gao使用温度分类80℃/180℃/240℃80℃/180℃80℃/240℃/550℃
zui高使用压力1.0MPaTH-1100-SP: 1.0MPa
TH-3200-SP: 0.1MPa
流量范围小:空气0~45m/h ( nor )
大值:空气0~681490 m/h ( nor )
小:空气0~120/0~255 m/h ( nor )
大值:空气0~391840/0~391800 m/h ( nor )
检测器材质检测器: SUS304、SUS316、SUS316L
传感器: SUS316
密封:氟橡胶及其他

 

普通法兰安装型传感器(2)

形式TH-1200战斗机TH-1700战斗机TH-1800战斗机
外观TH-1200TH-1700TH-1800
特点类型内联型
法兰连接型
小~中口径在线型
法兰连接型
小~中口径在线型
整流器组装型
进程连接配管法兰连接
(标准JIS10K )
配管法兰连接
(标准JIS10K )
或Rc螺纹
配管口径50A ~ 150A15A ~ 50A
zui高使用温度分类80℃/180℃
zui高使用压力1.0MPa
流量范围

小值:

空气
0~45 m/h ( nor )

大值:

空气
0~7360 m/h ( nor )

整流器有

小值:

空气
0~5 m/h ( nor )

大值:

空气
0~2605 m/h ( nor )

小值:

空气
0~235 m/h ( nor )

大值:

空气
0~130 m/h ( nor )

小值:

空气
0~105 m/h ( nor )

大值:

空气
0~5855 m/h ( nor )

检测器材质检测器:
sus 304 sus 316 sus 316 l
传感器: SUS316
密封:氟橡胶及其他
检测器: SCS 14 sc s 16 sus 304 sus 316 sus 316 l
传感器: SUS316
密封:氟橡胶及其他

 

高品位传感器
接触气体金属部实施复合电解研磨,采用金属密封。
要求非粒子、低泄漏的半导体气体工艺。

形式TH-1100-HQTH-1500-HQ
外观TH-1100HQTH-1500HQ
特点类型插入型
(特殊法兰喷嘴)
小~中口径串联型、配管焊接
(高品位传感器)
进程连接说明配管喷嘴法兰
(特殊法兰喷嘴)
工艺管道焊接
配管口径50A~100A15A~25A
zui高使用温度120℃
zui高使用压力1.0MPa
流量范围小:空气0~50m/h ( nor )
大值:空气0~3355 m/h ( nor )
小:空气0 ~ 260 L/min(nor )
大值:空气0 ~ 4075L/min(nor )
检测器材质检测器: SUS316L复合电解研磨(表面粗糙度Rmax. 0.7μm以下)
传感器: SUS316、kovar ( ni、co合金)、氧化铝陶瓷、金焊、
镀镍的组合
金属表面机处理( BA )
密封:主体部金属o形圈( PTFE被复)
传感器部SUS316
He泄漏性能1×10-10 PAM/s以下

 

高低温传感器
复盖高温用zui高550℃、低温用低-196℃的热流量计。
有高温用TH-3200和低温用TH-3300的检测器。

形式TH-3200战斗机TH-3300战斗机
外观TH-3100
特点类型插入型、高温低压用插入型、低温低压用
配管口径65A ~ 1500A
使用温度范围0 ~ 550℃-196 ~ 0℃
zui高使用压力0.1MPa
流量范围小:空气0~60m/h ( nor )
大值:空气0~388900 m/h ( nor )
检测器材质检测器: SUS304、SUS316、SUS316L
传感器: SUS316L

 

组合转换器


形式

TRX-600战斗机

TRX-700战斗机

TRX-900战斗机
外观TRX-600TRX-700TRX-900
可组合
传感器
TH-1100战斗机
TH-1200战斗机
TH-1400战斗机
TH-1700战斗机
TH-1800战斗机

TH-1100-HQ
TH-1500-HQ

TH-3200战斗机
TH-3300战斗机

th-1100战斗机
th-3200战斗机
TH-1100战斗机
TH-1200战斗机
TH-1400战斗机
TH-1700战斗机
TH-1800 TH-1100-HQ
TH-1500-HQ
特点一般类型
现场挂载
智能类型
室内面板安装
智能类型
现场挂载
外壳结构相当于IP65相当于IP20相当于IP54
显示上段:瞬时流量6位LED
下段:累计流量8位LED
上段:瞬时流量5位LCD
下段:累计流量7位LCD
输出模拟: DC4 ~ 20mA
累计脉冲:开路集电极
数字: RS-485
搭载功能标准:自我诊断功能
可选:温度补偿
标准:自我诊断功能
选购件:温度压力补偿
电源a c100、110、115 v±10 %
AC 200、220、240 v±10 %
AC90~264V 50/60Hz
精度2.0% F.S.±1digit1.0% F.S.±1digit

 

 

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