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日本东京计装超声波流量计

简要描述:

日本东京计装超声波流量计 UCUF-K系列液体用超声波流量计是专为超纯水和各种药液等小流量测量而设计的流量计,由UCUF-K型检测器和SFC型变换器构成。 UCUF型检测器的接液部均由面向半导体产业的PFA构成,没有可动部,也没有容易产生积液的o型圈等机械密封部。

更新时间:2020-01-08

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日本东京计装超声波流量计

UCUF-K系列液体用超声波流量计是专为超纯水和各种药液等小流量测量而设计的流量计,由UCUF-K型检测器和SFC型变换器构成。 UCUF型检测器的接液部均由面向半导体产业的PFA构成,没有可动部,也没有容易产生积液的o型圈等机械密封部。 因为是理想的洁净结构,是半导体装置等要求高洁净度的工艺的zui佳流量计

 

特点

EMC标准: en 61326-1:2013/en 61326-2-3:2013
支持RoHS
运动粘度40 mm2最多可测量/s的高粘度流体
精度在指示值的±1%以内(流速1 m/s以上时)
广泛的范围性能( 100:1代表值)
理想洁净结构的检测器
耐腐蚀,安装方便

主要用途

半导体制造工艺纯水超纯水的流量测定
各种药液注入工艺的流量测定
高腐蚀性液体的流量测量
CMP浆料流量测量
其他小~中口径工艺液体流量测量
清洗装置、CMP装置的流量测量控制

日本东京计装超声波流量计

主要规格

检测器规格

口径4mm、6mm、10mm、15mm、20mm
测量对象全部液体(不含气泡的液体、混合液应均匀溶解)
流量范围最小:0 ~ 0.8 L/min(04K )、最大: 18.8 ~ 80 L/min(20K )
流体声速1000 ~ 2200 m/s
流体运动粘度0.3 ~ 40mm2/s
流体温度+10 ~ +60℃
流体压力0 ~ 0.5MPa(G )
接液部材质新PFA
进程连接PFA气管末端

 

对应变换器

形式SFC3000SFC4000
安装方法DIN导轨安装面板安装
外观

 

 

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