产品列表PRODUCTS LIST

首页>产品中心>日本东京计装tokyokeiso>东京计装流量计>UCUF-02M/SFC-010L东京计装超声波流量计UCUF-02M/SFC-010L
东京计装超声波流量计UCUF-02M/SFC-010L

简要描述:

东京计装超声波流量计UCUF-02M/SFC-010L是液体用超声波流量计。 可高精度量测纯水、超纯水及各种药液等的微小流量。 测量管路的口径为2.5 mm,可广泛复盖以往UCUF型超声波流量计难以测量的微小流量区域。 接液部全部由面向半导体工业的PFA构成,是完全没有可动部、没有容易产生积液的密封部的理想洁净结构,半导体制造装置等要求洁净度的工艺。

更新时间:2020-07-01

免费咨询:19961810949

发邮件给我们:35371012@qq.com

分享到: 1
在线留言

东京计装超声波流量计UCUF-02M/SFC-010L

UCUF-02M/SFC-010L是液体用超声波流量计。 可高精度量测纯水、超纯水及各种药液等的微小流量。 测量管路的口径为2.5 mm,可广泛复盖以往UCUF型超声波流量计难以测量的微小流量区域。

特长

小口径化
该超声波流量计在超声波传播测量困难的内径φ2.5 mm的管路中成功测量了超声波的传播。
微小流量
最小满量程设定范围:0 ~ 10 mL/min
EMC标准: EN61326-1
支持RoHS
可测量运动粘度达到40 mm2/s的高粘度流体
理想洁净结构的检测器
耐腐蚀,安装方便
精度:指示值的±1%以内(流量25 mL/min以上时)

主要用途

半导体制造工艺纯水超纯水的流量测定
各种药液注入工艺的流量测定
高腐蚀性液体的流量测量
CMP浆料流量测量
其他小~中口径工艺液体流量测量
清洗装置、CMP装置的流量测量控制

东京计装超声波流量计UCUF-02M/SFC-010L

主要规格

测量对象
流量范围0 ~ 8000 mL/min
流体温度10 ~ 80℃(环境温度0 ~ 50℃)
流体压力0 ~ 0.5 MPa
进程连接3/8"PFA气管端子(外形尺寸…φ9.53、内径尺寸…φ6.35 )
测量精度±2%R.D.(1700mL/min以上)±34 ml/min (小于1700 ml/min )
但是,在流过20℃的水的情况下
电缆多芯专用电缆5m (标准)
结构IP65 (室内规格)

 

 

如有需求请点击详询联系:东京计装超声波流量计液体微小流量 

留言框

  • 产品:

  • 留言内容:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 详细地址:

  • 省份:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
在线客服
电话
19961810949
手机
19961810949